Кластерные вакуумные установки NEBULA производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) - соединение всех технологий Angstrom Engineering в одном кластере. Имеет наибольшие возможности по конфигурирования системы для задач заказчика. Может оснащаться перчаточным боксом и загрузочным шлюзом, кассетной станцией и камерами для различных процессов в зависимости от задач заказчика.

Вершина автоматизации, инженерной точности, управления пользователями и сотрудничества с вами, нашим партнером. Эти интегрированные вакуумные системы разработаны специально для удовлетворения требований наших клиентов. Количество и тип вакуумных модулей выбираются заказчиком и предоставляют возможности для будущего расширения.

• Может оснащаться перчаточным боксом.
• Кассетаная станция (до 25 пластин в кассете)
• Вакуумные загрузочный шлюз
• Пластины до 200х200 мм, круглые подложки и др.
• Процессы: PVD, LPCVD, ALD, RIE or ICP-RIE, PECVD or ICPECVD

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation) 
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation)
ионное напыление (ion-assisted deposition)
Атомно-слоевое осаждение (ALD)
Плазменное травление (RIE, ICP-RIE)
Плазменное осаждение (PECVD, ICPECVD)

Особенности

• Возможность обрабатывать на пластины до 200x200 мм (или других размеров или диаметров) с заданием различной скорости вращения держателя

• Продвинутая система управления на базе ПК.

• Камеры из алюминия или нержавеющей стали (опция).
• Оснащение кассетными станциями с загрузком до 25 пластин в кассету.
• Робот SCARA для транспортировки плвастин из камеры в камеру
• Подготовка (очистка) палстин перед процессом с ионными источниками

• Длинная дистанция между источниками и подложкой.

• Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция).

• Наполнение различными источниками PVD процессов согласно требованиям заказчика.

• Поддержка нескольких разных процессов.
• Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов.
• Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления.
• Оснащение вакуумный загрузочным шлюзом (опция)

• Контроль вакуума и вакуумная система:

  - Автоматический форвакуумный насос

  - Сухие насосы (опция)

  - Высокий вакуум обеспечивается крио насосом или турбомолекулярным насосом 

  - Пневматически воздушный фильтр

• Управление процессом осаждения:

  - теневая маска и выравнивание подложки

  - легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса

  - датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом

  - конфигурация для реализации процесса соосаждения- co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)

  - QCM - изолированный кварцевый датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников или оптический контроль

  - Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления.

  - Нагрев или охлаждение подложки (по запросу), охлаждение или доп. смещение на подложку

  - Планетарное вращение (опция), напыление под различными углами (GLAD держатель - опция)