Очистка пластин и фотошаблонов (жидкостная обработка и WET processing)

QUICKSTEP WET - установки очистки и жидкостной обработки пластин и фотошаблонов

Установки очистки и жидкостной обработки пластин и фотошаблонов QUICKSTEP WET от Obducat (Швеция).

Полуавтоматические установки для жидкостной обработки

Системы Obducat Quickstep Wet - это напольные системы жидкостной обработки, предназначенные для очистки пластин и фотошаблонов, Lift-Off процессов, травления или проявления фоторезистов. Благодаря широкому выбору опций эти установки легко конфигурируются в соответствии с потребностями клиентов при обработке пластин размером 200 и 300 мм или меньшего размера, а также больших подложек диаметром до 1500 мм.

Установки очистки и жидкостной обработки пластин и фотошаблонов QUICKSTEP WET от Obducat (Швеция).

Полуавтоматические установки для жидкостной обработки

Системы Obducat Quickstep Wet - это напольные системы жидкостной обработки, предназначенные для очистки пластин и фотошаблонов, Lift-Off процессов, травления или проявления фоторезистов. Благодаря широкому выбору опций эти установки легко конфигурируются в соответствии с потребностями клиентов при обработке пластин размером 200 и 300 мм или меньшего размера, а также больших подложек диаметром до 1500 мм.

MICROCLUSTER WET - MC 204 WET - автоматические установки очистки и жидкостной обработки пластин и фотошаблонов

Полностью автоматические установки очистки и жидкостной обработки пластин и фотошаблонов MICROCLUSTER WET от Obducat (Швеция).

Полностью втоматические установки для жидкостной обработки

Системы Obducat Microcluster Wet - это автоматические напольные системы жидкостной обработки с загрузкой из кассеты в кассету с 4мя модулями, предназначенными для очистки пластин и фотошаблонов, Lift-Off процессов, травления или проявления фоторезистов. Благодаря широкому выбору опций эти установки легко конфигурируются в соответствии с потребностями клиентов при обработке пластин размером 200 и 300 мм или меньшего размера.

Полностью автоматические установки очистки и жидкостной обработки пластин и фотошаблонов MICROCLUSTER WET от Obducat (Швеция).

Полностью втоматические установки для жидкостной обработки

Системы Obducat Microcluster Wet - это автоматические напольные системы жидкостной обработки с загрузкой из кассеты в кассету с 4мя модулями, предназначенными для очистки пластин и фотошаблонов, Lift-Off процессов, травления или проявления фоторезистов. Благодаря широкому выбору опций эти установки легко конфигурируются в соответствии с потребностями клиентов при обработке пластин размером 200 и 300 мм или меньшего размера.

MICROCLUSTER WET TRACK - автоматические установки очистки и жидкостной обработки пластин и фотошаблонов

Полностью автоматические установки очистки и жидкостной обработки пластин и фотошаблонов MICROCLUSTER WET TRACK от Obducat (Швеция).

Полностью втоматические установки для жидкостной обработки

Системы Obducat Microcluster Wet Track - это автоматические напольные системы жидкостной обработки с загрузкой из кассеты в кассету, предназначенными для очистки пластин и фотошаблонов, Lift-Off процессов, травления или проявления фоторезистов. Благодаря широкому выбору опций эти установки легко конфигурируются в соответствии с потребностями клиентов при обработке пластин размером 200 и 300 мм или меньшего размера.

Полностью автоматические установки очистки и жидкостной обработки пластин и фотошаблонов MICROCLUSTER WET TRACK от Obducat (Швеция).

Полностью втоматические установки для жидкостной обработки

Системы Obducat Microcluster Wet Track - это автоматические напольные системы жидкостной обработки с загрузкой из кассеты в кассету, предназначенными для очистки пластин и фотошаблонов, Lift-Off процессов, травления или проявления фоторезистов. Благодаря широкому выбору опций эти установки легко конфигурируются в соответствии с потребностями клиентов при обработке пластин размером 200 и 300 мм или меньшего размера.

Установки SRD очистки и сушки пластин и фотошаблонов µSRD

Системы SRD-отмывки и сушки µSRD-150-B от компании Mot Semicon (Германия)

Системы SRD-отмывки и сушки имеют высокую производительность и обеспечивают качественный и экономичный отмыв и сушку пластин. Корпус установок SRD изготовлен из полипропилена и нержавеющей стали устойчивых к воздействию используемой в технологических процессах химии. Сменные роторы позволяют работать с различными размерами подложек, например, 60х48 мм, 76 мм, 100 мм и до 150 мм.

Системы SRD-отмывки и сушки µSRD-150-B от компании Mot Semicon (Германия)

Системы SRD-отмывки и сушки имеют высокую производительность и обеспечивают качественный и экономичный отмыв и сушку пластин. Корпус установок SRD изготовлен из полипропилена и нержавеющей стали устойчивых к воздействию используемой в технологических процессах химии. Сменные роторы позволяют работать с различными размерами подложек, например, 60х48 мм, 76 мм, 100 мм и до 150 мм.

Уже установлено в России и СНГ: 3 шт