Универсальные лабораторные диффузионные печи для атмосферных процессов, PECVD и LPCVD для групповой обработки пластин в мелкосерийном производстве и НИОКР производства от ATV Technologie GmbH (Германия).
Применение:
Обработка в атмосфере (диффузия, окисление, отжиг, PECVD, LPCVD)
Температурный диапазон: от RT до 1150°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная (групповая)
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от модели печи.
Загрузка от 5 до 60 пластин
Вакуум: опция
Универсальные лабораторные диффузионные печи для атмосферных процессов, PECVD и LPCVD для групповой обработки пластин в мелкосерийном производстве и НИОКР производства от ATV Technologie GmbH (Германия).
Применение:
Обработка в атмосфере (диффузия, окисление, отжиг, PECVD, LPCVD)
Температурный диапазон: от RT до 1150°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная (групповая)
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от модели печи.
Загрузка от 5 до 60 пластин
Вакуум: опция
Настольные лаборатрные горизонтальные диффузионные печи производстве от SVCS (Чехия).
Применение:
Процессы:
Температурный диапазон: от 200 до 1300°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная
Диаметр пластин до 150 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25
Настольные лаборатрные горизонтальные диффузионные печи производстве от SVCS (Чехия).
Применение:
Процессы:
Температурный диапазон: от 200 до 1300°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная
Диаметр пластин до 150 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25
Универсальные горизонтальные диффузионные печи для атмосферных процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).
Применение:
Обработка в атмосфере (диффузия, окисление, отжиг и др.)
Температурный диапазон: от RT до 1300°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная или автоматическая
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25 до 300 пластин (на процесс - трубу)
До 4 труб на печь
Универсальные горизонтальные диффузионные печи для атмосферных процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).
Применение:
Обработка в атмосфере (диффузия, окисление, отжиг и др.)
Температурный диапазон: от RT до 1300°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная или автоматическая
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25 до 300 пластин (на процесс - трубу)
До 4 труб на печь
Универсальные горизонтальные диффузионные печи для LPCVD процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).
Применение:
LPCVD осаждение (Si3N4, LTO, HTO, TEOS, PolySi, doped PolySi)
Температурный диапазон: от RT до 1200°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная или автоматическая
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25 до 300 пластин (на процесс - трубу)
До 4 труб на печь
Универсальные горизонтальные диффузионные печи для LPCVD процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).
Применение:
LPCVD осаждение (Si3N4, LTO, HTO, TEOS, PolySi, doped PolySi)
Температурный диапазон: от RT до 1200°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная или автоматическая
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25 до 300 пластин (на процесс - трубу)
До 4 труб на печь
Универсальные горизонтальные диффузионные печи для PECVD процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).
Применение:
PECVD осаждение:
Температурный диапазон: от 200 до 800°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная или автоматическая
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25 до 300 пластин (на процесс - трубу)
До 4 труб на печь
Универсальные горизонтальные диффузионные печи для PECVD процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).
Применение:
PECVD осаждение:
Температурный диапазон: от 200 до 800°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная или автоматическая
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25 до 300 пластин (на процесс - трубу)
До 4 труб на печь
Диффузионные печи широко используются для обработки полупроводниковых и кремниевых пластин такими способами, как: термическое сухое и влажное окисление, диффузия, сплавление, отжиг, загонка и разгонка легирующих примесей.
Как правило, первым этапом изготовления полупроводниковых приборов является термическое окисление наружной поверхности пластины. Окисление называется сухим, если проходит в атмосфере кислорода, или же жидкостным – если проходит в атмосфере, содержащей кислород с парами воды. Термическое окисление позволяет получить пленку диоксида кремния толщиной около одного микрона. Такая пленка способствует защите пластины кремния от проникновения сторонних химических веществ и служит основой для последующего процесса диффузии. Возможность создания на кремнии химически устойчивой защитной пленки диоксида кремния, делает такие пластины широко применяемыми полупроводниковыми подложками.
Диффузия, проводимая в диффузионной печи, является наиболее признанным методом образования переходов в полупроводниках. Диффузионный метод заключается в том, что кремниевая пластина, находясь в диффузионной печи подвергается воздействию высокой температуры. В печи, также находятся необходимые добавки, находящиеся в парообразном состоянии. В результате процесса, в кремниевой пластине формируются области p- или n-типа проводимости. Обычно, в качестве примесей для р-типа используется бор (B), а для n-типа фосфор (Р), мышьяк (As) или сурьма (Sb).
Сплавлением называется процесс, при котором в низкотемпературную диффузионную печь помещаются металлизированные обложки (обычно алюминиевые), для обеспечения контакта с низким сопротивлением, между металлом и кремниевой подложкой. После этапа сплавления пластины в диффузионной печи подвергают воздействию газовой смеси, содержащей водород, при температуре от 400 до 500°C.
Операция отжига предназначена для оптимизации и стабилизации характеристик прибора, благодаря соединению водорода несвязанными атомами на границе раздела среды кремния и диоксида кремния.
Процессы:
Диффузионные печи производства ATV Technologie GmbH (Германия) и SVCS (Чехия), представленные в нашем ассортименте, прекрасно справляются со всеми вышеперечисленными процессами.