Бюджетная установки MDA-400LJ производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением применяется для технологий изготовления MEMS, оптоэлектроники и др. MDA-400LJ - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР и для малых объемов производства.
Точность совмещения 1 мкм.
Обработка пластин до 100 мм.
Ручное совмещение и ручное экспонирование.
Бюджетная установки MDA-400LJ производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением применяется для технологий изготовления MEMS, оптоэлектроники и др. MDA-400LJ - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР и для малых объемов производства.
Точность совмещения 1 мкм.
Обработка пластин до 100 мм.
Ручное совмещение и ручное экспонирование.
Бюджетная установки MDA-600LJ производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением применяется для технологий изготовления MEMS, оптоэлектроники и др. MDA-600LJ - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР и для малых объемов производства.
Точность совмещения 1 мкм.
Обработка пластин до 150 мм. (до 6 дюймов)
Ручное совмещение и ручное экспонирование.
Бюджетная установки MDA-600LJ производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением применяется для технологий изготовления MEMS, оптоэлектроники и др. MDA-600LJ - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР и для малых объемов производства.
Точность совмещения 1 мкм.
Обработка пластин до 150 мм. (до 6 дюймов)
Ручное совмещение и ручное экспонирование.
Установка MDA-400M производства MIDAS SYSTEM (Корея) с полностью ручным управлением широко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. MDA-400M - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства
Точность совмещения 1 мкм.
Обработка пластин до 100 мм.
Максимальный размер фотошаблона 127х127 мм (5х5 дюймов)
Ручное совмещение и автоматическое экспонирование
Установка MDA-400M производства MIDAS SYSTEM (Корея) с полностью ручным управлением широко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. MDA-400M - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства
Точность совмещения 1 мкм.
Обработка пластин до 100 мм.
Максимальный размер фотошаблона 127х127 мм (5х5 дюймов)
Ручное совмещение и автоматическое экспонирование
Установка MDA-400M-6 производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением и PLC/PC контролем широко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. MDA-400M-6 - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства
Установка MDA-400M-6 производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением и PLC/PC контролем широко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. MDA-400M-6 - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства
Новая полуавтоматическая установка MDA-600S производства MIDAS SYSTEM (Корея) прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
Новая полуавтоматическая установка MDA-600S производства MIDAS SYSTEM (Корея) прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
Полуавтоматическая установка MDA-60MS/80MS производства MIDAS SYSTEM (Корея) прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
Полуавтоматическая установка MDA-60MS/80MS производства MIDAS SYSTEM (Корея) прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
Полуавтоматические установки совмещения и экспонирования MDA-80SA / MDA-12SA производства MIDAS SYSTEM (Корея) для серийного производства - прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой.
Обработка пластин до 200 мм / 300 мм.
Моторизованный столик при совмещении и фокусировке, автоматическое экспонирование.
Полуавтоматические установки совмещения и экспонирования MDA-80SA / MDA-12SA производства MIDAS SYSTEM (Корея) для серийного производства - прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой.
Обработка пластин до 200 мм / 300 мм.
Моторизованный столик при совмещении и фокусировке, автоматическое экспонирование.
Установки MDA-40FA / MDA-80FA / MDA-12FA производства MIDAS SYSTEM (Корея) - новые модели представляющуе новое поколение полностью автоматических систем литографии.
Новая платформа автоматической модели предлагает более высокие точности и более легкое управление. Идеальное решение для производства LED и других технологиях (MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства) требующих высокой точности совмещения.
Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой.
Обработка пластин до 50, 100 мм / 150, 200мм. / 200, 300 мм.
Полностью автоматическое совмещение, автоматическое экспонирование
Установки MDA-40FA / MDA-80FA / MDA-12FA производства MIDAS SYSTEM (Корея) - новые модели представляющуе новое поколение полностью автоматических систем литографии.
Новая платформа автоматической модели предлагает более высокие точности и более легкое управление. Идеальное решение для производства LED и других технологиях (MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства) требующих высокой точности совмещения.
Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой.
Обработка пластин до 50, 100 мм / 150, 200мм. / 200, 300 мм.
Полностью автоматическое совмещение, автоматическое экспонирование
Фотолитография – процесс создания определенного рисунка с заданными характеристиками на поверхности подложки с нанесенным на нее фоточувствительным слоем, широко применяется в микроэлектронике и производстве печатных плат.
Суть процесса в том, что на поверхность наносится фоторезист (полимерная пленка), затем она засвечивается через фотошаблон. И с помощью специальной жидкости происходит проявление фоторезиста. Для получения минимальной топологической нормы в процессе контактной фотолитографии применяется вакуумный контакт, при котором между фотошаблоном и пластиной удаляется воздух.
Процесс контактной фотолитографии имеет свои недостатки так как при контакте неизбежно повреждается / изнашивается фотошаблон, также попадание пыли или мелких непрозрачных частиц приводит к дефектам. Возникновение зазора между фотошаблоном и слоем фоторезиста затрудняет производство элементов менее 2 мкм.
Оборудование для контактной фотолитографии значительно дешевле, что делает его экономически выгодным для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства.
Из недостатков выделяется ухудшение качества изделий с увеличением контактных циклов.
Установки совмещения и экспонирования схожи своей относительно низкой ценой и высоким качеством. Позволяют достичь точности совмещения 0,5 мкм и могут иметь антивибрационную систему. Разделить же их можно на ручные (серия MDA-400LJ, MDA-400, MDA-400M-6), бюджетные установки, идеальный вариант для изготовления оптоэлектроники и использования в лаборатории. Полуавтоматические (MDA-600S, MDA-60MS, MDA-80SA/MDA-12SA), подойдет для ВЧ и flip chip устройств, а также технологий требующих высокой точности совмещения. И автоматические (MDA-40FA / MDA-80FA / MDA-12FA), имеют более высокую производительность и предназначены для производства.
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
