Настольная установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 200х200 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)
Вес: 150 кг.
UEC (Ultrasonic Electronic Coater)
Размер подложки | от 5х5 мм до 200x200 мм |
Перемещение дозатора по осям XYZ | X- 200 мм Y - 200 мм Z - NA |
Управление | Программатор, PLC контроль с 7" touch screen дисплеем. |
Автодиспенсер и сопло дозатора | сопло (ширина нанесения 10-80 мм) |
Подача фоторезиста | УЗ генератор 120 кГц |
Корпус | Нержавеющая сталь |
Столик | Анодированный алюминий |
Вакуумный прижим | нет. |
Электропитание | 220 В, 50 Гц. |
Размеры | 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ) |
Настольная лабораторная центрифуга SPIN-1200T производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и цветным touch screen дисплеем для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 100 мм (до 150 мм - опция)
Настольная лабораторная центрифуга SPIN-1200T производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и цветным touch screen дисплеем для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 100 мм (до 150 мм - опция)
Продвинутая установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC4000L производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 400х400 мм.
Перемещение по XY: 400 x 400 мм
Размеры установки: 1040 мм x 750 мм x 950 мм (ГxШxВ)
Продвинутая установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC4000L производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 400х400 мм.
Перемещение по XY: 400 x 400 мм
Размеры установки: 1040 мм x 750 мм x 950 мм (ГxШxВ)
Термоплитка для сушки фоторезиста ND-1 от AS One (Япония).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 170х170 мм.
Цифровой дисплей
Максимальная температура: 350 oC
Термоплитка для сушки фоторезиста ND-1 от AS One (Япония).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 170х170 мм.
Цифровой дисплей
Максимальная температура: 350 oC