Настольная лабораторная центрифуга SPIN-1200T производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и цветным touch screen дисплеем для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 100 мм (до 150 мм - опция)
| Размер подложки | от 5х5 мм до 100 мм (до 150 мм - опция) |
| Скорость вращения | от 300 до 10000 об/мин +/-1% для не загруженного держателя |
| Ускорение | Ускорение и скорость задается оператором |
| Управление | Цветной touch screen дисплей, 20 рецептов, 50 шагов |
| Размер барабана | 8 дюймов, материал Ацеталь |
| Мотор | DC сервомотор |
| Корпус | Нержавеющая сталь |
| Вакуумный прижим | Анодированный алюминий |
| Электропитание | 220 В, 50 Гц. |
| Размеры | 230 х 340 х 260 мм. |
MINILAB - полностью укомплектованная литографическая лаборатория, производства MIDAS SYSTEM (Корея) включающая центрифугу для нанесения фоторезиста, термостолик сушки и задубливания и станцию (генератор) деионизованной воды.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 100 мм (до 150 мм - опция)
MINILAB - полностью укомплектованная литографическая лаборатория, производства MIDAS SYSTEM (Корея) включающая центрифугу для нанесения фоторезиста, термостолик сушки и задубливания и станцию (генератор) деионизованной воды.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 100 мм (до 150 мм - опция)
Установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 200х200 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)
Установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 200х200 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)
Продвинутая установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC4000L производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 400х400 мм.
Перемещение по XY: 400 x 400 мм
Размеры установки: 1040 мм x 750 мм x 950 мм (ГxШxВ)
Продвинутая установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC4000L производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 400х400 мм.
Перемещение по XY: 400 x 400 мм
Размеры установки: 1040 мм x 750 мм x 950 мм (ГxШxВ)
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
