ES01/EGS01 - серия универсильных спектроскопических эллипсометров производства Beijing Ellitop Scientific Co.Ltd (Китай) с диапазоном длин волн: DUV-VIS-NIR (ГУФ-ВИД-ИК) специально разработанных для исследований с возможностью проведения измерений толщин одно- и многослойных пленок и пленочных структур под различными углами и для измерения оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей в УФ и видимого и ИК диапазонах длин волн. Измерение нанопленок.
Спектральный диапазон: от 193 до 2500 нм (в зависимости от модели)
Самоколлимационный телескоп (Self-collimation Telescope - SCT) и микроскоп для точного выравнивания образцов (по высоте и двумерному наклону). Электронное выравнивание изображений на основе видео
Программный пакет на английском языке
Толщина пленок: от 1 Å до 200 мкм (зависит от пленки и оптиеских параметров)
Большое количество опций
Линейка моделей серии EGS01:
EGS01-DUL: спектральный диапазон 193 - 1000 нм
EGS01-DUI: спектральный диапазон 193 - 1700 нм
EGS01-DIX: спектральный диапазон 193 - 2100 нм
EGS01-U: спектральный диапазон 245 - 1000 нм
EGS01-UI: спектральный диапазон 245 - 1700 нм
EGS01-UIX: спектральный диапазон 245 - 2100 нм
EGS01-UIX2: спектральный диапазон 245 - 2500 нм
EGS01-V: спектральный диапазон 370 - 1000 нм
EGS01-VI: спектральный диапазон 370 - 1700 нм
EGS01-VII: спектральный диапазон 370 - 2100 нм
EGS01-NIR: спектральный диапазон 1000 - 1700 нм
EGS01-NIRX: спектральный диапазон 1000 - 2500 нм
Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления как единичных слоев так и многослойных пленок в производстве или лаборатории.
- Исследования
- Нанатехнологии
- Фотовольтаика
- Микроэлекроника
- Органическая электроника
- Покрытия на стекле
- Дисплеи
- Биотехнологии
- Естественные науки
Опции:
Длина волны | 193-2500 нм. (в зависимости от модели) |
Принцип измерения | P-C1-S-C2-A (P - polarizer, C1 - compensator, S - sample, C2 - compensator, A - analyzer) |
Точность измерения ψ и ∆: | ψ: ±0.02°, Δ: ±0.04°
Mueller matrix with diagonal elements m = 1 ± 0.005 and non-diagonal elements m = 0 ± 0.005 |
Воспроизводимость измерения толщины пленки: |
0.01 нм |
Точность измерения индекса преломления: | 5х10-4 на 100 нм SiO2 наSi |
Диапазон измерений пленок: | от 1 Å до 200 мкм (зависит от пленки) |
Время измерения | 5-10 сек для всего спектра |
Диаметр светового пятна | около 1-4 мм (зависит от установки угла) Опционально с микроспотом: 180 мкм |
Угол падения луча света | Ручной гониометр 40 – 90о, шаг установки 5о, точность 0,02о Моторизованный пирамидаидальный гониометр: 30 – 90о, Точность: 0,02о |
Выравнивание образца, фокусировка | Самоколлимационный телескоп (Self-collimation Telescope - SCT) и микроскоп для точного выравнивания образцов (по высоте и двумерному наклону). Электронное выравнивание изображений на основе видео |
Опции | - Видеокамера и микроскоп для инспекции образца - Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 100х100 мм, до 200х200 мм и до 300х300 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования). Опция меппинга (моторизованный столик для образцов с компъютерным управлением) и ПО позволяет анализировать однородность распределения толщины пленки на образце. Данные могут быть выведены как 2D- и 3D- изображение распределения толщины с полной статистикой. - Микроспот (фокусировка пятна: 180 мкм) в VIS диппазоне - Автоматический моризованный гониометр (30о-90о) с точностью устанвки угла (0,02о) - Столик с автоматическим выравниваниванием образца по углу наклона (дивпазон: θX=±10°, θY=±15°) - Автофокус с диппазоном перемещени по Z: 10 и 20 мм соответвенно (на выбор) - Столики с нагревом или охлаждением - Жидкостные ячейки - Пористые адсорбционные стенды для образцов - Анизотропия и вращающиеся столики - Измерени на просвет - Измерение 16-тизначной матрицы Мюллера |