Настольная лабораторная центрифуга SPIN-3000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и программатором для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 200 мм
Размер подложки | от 5х5 мм до 200 мм |
Скорость вращения | от 300 до 8000 об/мин +/-1% для не загруженного держателя |
Ускорение | Ускорение и скорость задается оператором |
Управление | Программатор, 20 рецептов, 50 шагов |
Размер барабана | 12 дюймов, материал нержавеющая сталь |
Мотор | AC сервомотор |
Корпус | Нержавеющая сталь |
Вакуумный прижим | Анодированный алюминий |
Электропитание | 220 В, 50 Гц. |
Размеры | 390 х 570 х 400 мм. |
Слив | 1 сливное отверстия |
Настольная лабораторная центрифуга SPIN-3000D производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и программатором для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 150 мм
Настольная лабораторная центрифуга SPIN-3000D производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и программатором для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 150 мм
MINILAB - полностью укомплектованная литографическая лаборатория, производства MIDAS SYSTEM (Корея) включающая центрифугу для нанесения фоторезиста, термостолик сушки и задубливания и станцию (генератор) деионизованной воды.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 100 мм (до 150 мм - опция)
MINILAB - полностью укомплектованная литографическая лаборатория, производства MIDAS SYSTEM (Корея) включающая центрифугу для нанесения фоторезиста, термостолик сушки и задубливания и станцию (генератор) деионизованной воды.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 100 мм (до 150 мм - опция)
Центрифуга SPIN-5000A для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 500х500 мм.
AC сервомотор
Центрифуга SPIN-5000A для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 500х500 мм.
AC сервомотор