Установка MDA-400M-6 производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением и PLC/PC контролем широко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. MDA-400M-6 - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства
Мощность лампы | УФ источник света с мощностью 350 Вт с контролем интенсивности и мощности излучения. |
Размер подложки | кусочки, пластины до 6 дюймов, размер подложек 6х6 дюйма |
Точность | 1 микрон |
Разрешение | 1 микрон, при использовании тонкого фоторезиста на Si пластине с вакуумным контактом (возможно 0,8 мкм с вакуумным контактом) |
Размер маски | до 7 х 7 дюймов |
УФ лампа | 350 Вт. |
Диапазон длин волн засветки | 350-450 нм, или другие по запросу. |
Размер однородного пучка | 6,25" х 6,25" |
Оптическое зрение (микроскоп) | Микроскоп двойного поля (80x - 480x увеличение, или 80-1000х по запросу), CCD камера |
Однородность пучка | < 5% |
Интенсивность излучения при длине волны 365 нм | Максимальная 25 мВт/см2 |
Режим управления | с ПК |
Регулируемое время экспонирования | 0,1 to 999,9 сек с шагом 100 мс. |
Совмещение подложек | Модуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z (по z ± 10 мм или другой по запросу) и по углу θ (± 5°) |
Выравнивание | Компенсация ошибки клина |
Методы экспонирования | Мягкий контакт, жесткий контакт, вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором (регулируемое 1 мкм) |
Стол | Антивибрационный стол |
Опции | ИК опция обратного совмещения (IR BSA) или CCD BSA камеры CCD , Датчик интенсивности УФ излучения, модуль UV-LED излучения (365 нм), модуль засветки для УФ и глубокого УФ |
Полуавтоматическая установка MDA-60MS/80MS производства MIDAS SYSTEM (Корея) прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
Полуавтоматическая установка MDA-60MS/80MS производства MIDAS SYSTEM (Корея) прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
Бюджетная установки MDA-400LJ производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением применяется для технологий изготовления MEMS, оптоэлектроники и др. MDA-400LJ - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР и для малых объемов производства.
Точность совмещения 1 мкм.
Обработка пластин до 100 мм.
Ручное совмещение и ручное экспонирование.
Бюджетная установки MDA-400LJ производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением применяется для технологий изготовления MEMS, оптоэлектроники и др. MDA-400LJ - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР и для малых объемов производства.
Точность совмещения 1 мкм.
Обработка пластин до 100 мм.
Ручное совмещение и ручное экспонирование.
Установки MDA-40FA / MDA-80FA / MDA-12FA производства MIDAS SYSTEM (Корея) - новые модели представляющуе новое поколение полностью автоматических систем литографии.
Новая платформа автоматической модели предлагает более высокие точности и более легкое управление. Идеальное решение для производства LED и других технологиях (MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства) требующих высокой точности совмещения.
Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой.
Обработка пластин до 50, 100 мм / 150, 200мм. / 200, 300 мм.
Полностью автоматическое совмещение, автоматическое экспонирование
Установки MDA-40FA / MDA-80FA / MDA-12FA производства MIDAS SYSTEM (Корея) - новые модели представляющуе новое поколение полностью автоматических систем литографии.
Новая платформа автоматической модели предлагает более высокие точности и более легкое управление. Идеальное решение для производства LED и других технологиях (MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства) требующих высокой точности совмещения.
Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой.
Обработка пластин до 50, 100 мм / 150, 200мм. / 200, 300 мм.
Полностью автоматическое совмещение, автоматическое экспонирование